第72章 光源迭代

星辰光刻光源实验室，午夜。

张工盯着监测屏上那条功率曲线，眼睛布满血丝。

"又掉了。"他把手里的记录本往桌上一拍，"连续运行四小时，功率从520瓦一路掉到487瓦。一掉电，镀膜层就开始烧损——这就是个死循环。"

光源组十几号人，围在监测屏前，一片沉默。

"张工，"一个年轻工程师低声问，"这个问题，真就无解了？"

"无解？"张工苦笑，"要是有解，我至于熬这第七个通宵？"

他指着屏幕上那根跳动的波纹："LPP光源，用二氧化碳激光轰击锡滴产生等离子体。锡滴在激光下爆开，变成高温等离子体，发出极紫外光。原理不复杂，难就难在——锡滴炸开的时候，会有无数碎屑高速飞溅。"

"飞溅的锡屑粘到收集镜上，镜面一脏，反射效率就往下掉。"

"反射效率掉了，激光功率就得往上加；功率一加，锡滴汽化更不充分，碎屑更多……"

"恶性循环。"苏宇的声音从门口传来，他推门进来，身上还带着夜里的凉气，"我听说，光源这块又卡住了。"

"苏总！"张工一愣，"您怎么……"

"从光学实验室那边过来。"苏宇在他身边坐下，"刚把镜组的事儿了了，转头就听说你这儿也卡了。说吧，现在卡在哪一道坎上？"

"功率。"张工把记录本摊开，"实验室出光，跑一两个小时没问题。可上了产线，那是二十四小时连轴转。咱们这套光源，连续运行四小时，功率就开始往下掉，跑不满三天，就得停下来拆洗镜组。"

"一台光刻机，一年要跑八千多个小时。"他叹了口气，"就现在这个状态，量产线根本不敢开机。"

"加班加点调参，已经调了整整一周了。"那个年轻工程师小声说，"功率就是卡在五百瓦这道坎上。"

"这不是调参的问题。"角落里，韩工忽然开口，"是方案的问题。"

所有人循声看去。

韩工站起来，走到白板前，画了一个草图："锡滴飞溅的路径，我测过三百多次。碎屑不是随机分布的——它沿着等离子体的磁场线，有一个固定的聚集方向。"

"磁场线？"张工一愣。

"对。"韩工在草图上画了几道弧线，"LPP等离子体是个强电磁环境，带电的锡屑，会顺着磁场线跑。如果我们在这条磁路上，加一道可控磁场——把带电的锡屑导走——"

"让它们绕开收集镜？"张工的眼睛一下子亮了。

"不止绕开。"韩工深吸一口气，"还可以让导走的锡屑，重新回到锡滴轨道，回收利用。磁轨导流，一石二鸟。"

实验室里，响起一片吸气声。

"导流+回收？"张工喃喃，"这个思路……"

"是我从归鸿计划的老资料里翻出来的。"韩工说，"漂亮国十年前做过类似实验，方向对了，但当时磁场控制精度不够，放弃了。现在——"他看向苏宇，"咱们有量子芯片，磁场控制精度，完全不是问题。"

苏宇看着白板上那几道弧线，目光越来越亮。

"韩工，"他问，"这套方案，你有几成把握？"

"原理上，我有八成把握。"韩工说，"但导流结构的设计、磁场的参数匹配，最快也要三天才能出样机。"

"三天太久。"苏宇摇头，"我给你两天。"

"苏总……"

"光源组的兄弟们，今晚起两班倒。"苏宇站起身，"韩工你牵头，归鸿的工程师搭把手——磁场控制单元，我来解决。冰芯那边刚流片的量子芯片，控制精度绰绰有余。"

"两天之内，"他一字一句，"我要看到样机。"

"磁轨导流"方案的原

理样机，在光源组和归鸿工程师的连番苦战下，一点点成型。

第一天夜里，磁场控制单元完成调试。

第二天中午，导流结构装上了试验台。

"苏总，磁场参数出来了。"韩工的声音有些发颤，"磁轨导流的路径，跟仿真结果完全一致。"

"好。"苏宇拍了拍他的肩膀，"你立了大功。"

"苏总，我没想那么多。"韩工挠了挠头，"我就是觉得——咱们都熬了这么久了，总得把这事儿熬出来。"

苏宇心头微动。

他记得韩工。光源首测失败那天，这个年轻工程师一度想离职，被林晚晴劝了回来，从此死磕设备。

"韩工，"苏宇说，"等这台光刻机造出来，你值得一个大大的头功。"

晚上九点，样机整备完毕。

张工绕着试验台转了三圈，检查每一处密封。韩工蹲在磁场控制单元前，最后一遍核对参数曲线。

"锡滴发生器，频率稳定。"

"激光功率，匹配无误。"

"磁场导流路径，全部就位。"

"冷却循环——"苏宇看了一眼夏若雪送来的那台装置，"就位。"

一切就绪。

就在苏宇准备按下点火键的时候，实验室的门忽然被推开。

林晚晴拎着两大袋夜宵，探头探脑地进来："各位，歇一歇！热乎的，先垫垫肚子——"

她身后，夏若雪推着一辆小推车，车上放着一台银灰色的仪器。

"这是超纯水冷却循环装置。"夏若雪轻声说，"我托导师从实验室借的。光源长时间运行，发热是最大的敌人——这套装置，能把腔体温度压到恒定。"

"还有这个。"楚冰跟在最后，手里托着一块巴掌大的芯片，"冰芯二号刚下线的最强批次，纠缠态保持时间比量产版提升了12%。装到磁场控制单元里，精度还能再上一个台阶。"

苏宇看着眼前的三个女人，喉咙忽然有些发紧。

"你们……"他张了张嘴，一时竟说不出话来。

"行了，别感动了。"林晚晴把夜宵往桌上一放，推了他一把，"机器要紧。你造你的光刻机，我们给你当后勤。"

"苏宇，"夏若雪把冷却装置推到他面前，"加油。"

"快去。"楚冰只说了两个字，却把芯片稳稳塞进他手里。

苏宇握着那块芯片，只觉掌心滚烫。

"好。"他深吸一口气，"全体注意——装冷却装置，换量子芯片，重新整备！"

十五分钟后，样机二次整备完毕。

张工深吸一口气，按下点火键。

"轰——"

一道剧烈的白光在腔体内炸开。锡滴在激光的轰击下爆成等离子体，高速飞散的碎屑，在磁场线的引导下，划过一道道漂亮的弧线，绕开收集镜，向着回收槽汇聚而去。

监测屏上的功率曲线，开始爬升。

490。

510。

525。

"545瓦！"张工的声音都在抖，"过了量产线！持续稳定！"

"碎屑回收率——81.7%！"韩工盯着另一块屏，眼睛瞪得溜圆，"镜面污染速率，直接降了一个数量级！"

"一个小时了！功率纹丝不动！"

"两个小时！还是545瓦！"

"四个小时——满屏都是545！稳定得像一根直线！"

光源实验室里，欢呼声震耳欲聋。

有人把安全帽扔上了天，有人抱在一起又蹦又跳。张工一屁股坐在地上，仰着头，眼眶通红——为了这台光源，他已经连续奋战了七个通宵。

韩工没有喊叫。他只是死死盯着屏幕上那根纹

丝不动的功率线，盯了很久很久，然后"啪"地一声，把记录本合上，咧嘴笑了。

"四个小时了，"他轻声说，"一点没掉。"

苏宇站在人群中央，看着那台重新运转的样机，心里的那根弦，终于松了半分。

四大模块——光源、工件台、光学、软件。

光源量产级迭代，拿下。

"张工，"他拍了拍张工的肩膀，"通知王磊。软件组那边，光刻机整机控制软件的联调环境，准备得怎么样了？"

"王总昨天就传话了——"张工咧嘴一笑，"软件组那边，就等咱们的光源参数锁定，随时可以接入整机。"

"好。"苏宇的眼底，掠过一道锐光，"光源参数锁定，报给总装组。"

"三天后，"他说，"整机总装，正式启动。"

消息，很快传遍了星辰光刻研发中心。

"光源量产参数锁定了？"

"545瓦连续稳定！碎屑回收率八成以上！"

"四大模块全齐了！就差总装！"

"咱们的EUV光刻机，真的要合体了！"

研发中心的走廊里，到处是兴奋的议论声。

苏宇站在走廊尽头，看着窗外渐渐亮起的天色。这一夜，从光学实验室到光源实验室，又是一个通宵。

"苏宇。"楚冰的声音从身后传来，她走过来，把一杯热咖啡递进他手里，"张工那边已经安排人盯着了。你歇一会儿。"

"歇不了。"苏宇喝了一口咖啡，苦笑，"光源参数锁定，明天就得报总装组。王磊那边，软件联调的环境还差最后一环——我得过去看看。"

"那我跟你去。"楚冰说。

"还有我们。"林晚晴和夏若雪一前一后走出来，林晚晴挽住苏宇的胳膊，"总装是个大工程，你这几天肯定顾不上吃饭。我让星辰MCN的行政，把三餐直接送到总装厂房门口。"

"营养餐单，我已经配好了。"夏若雪说，"高压阶段，饮食跟不上，身体先垮。"

苏宇看着眼前三个女人，忽然觉得，这一夜的疲惫，好像也没那么难熬了。

"好。"他轻声说，"那就——并肩作战。"

可苏宇还没来得及多高兴一会儿，系统提示音，便在他脑海中响了起来。

"叮！四大模块状态确认：光源【量产达标】、工件台【精度达标】、光学【检测达标】、软件【联调就绪】——整机总装前置条件，全部满足！"

"叮！新子任务即将发布——【EUV总装】！"

"提示：限时三十天。总装、联调、流片，全部在期限内完成。奖励：系统积分500000

+

隐藏奖励一项。失败：主线【破釜沉舟】直接判定失败。"

苏宇的眼前，浮现出一块淡蓝色的系统面板。一行任务信息，清晰地铺展开来。

"任务【EUV总装】：限时三十天。当前进度：0/3——总装（未完成）、联调（未完成）、流片（未完成）。"

"苏宇。"楚冰察觉到他神色有异，轻声问，"怎么了？"

"没事。"苏宇收回目光，摇了摇头，"系统给的任务——三十天内，总装、联调、流片，全要拿下。"

"三十天？"林晚晴瞪大了眼睛。

"对。"苏宇的眼底，没有半分惧色，反而燃起一团火，"时间紧，那就抢时间。机器能造多快，我们就推多快。"

"这台光刻机，不只是我苏宇的赌局。"他缓缓说，"是整个龙国芯片产业，翻身的一仗。"

他抬起头，看向研发中心尽头那扇紧闭的大门——门后，就是整机总装的巨型厂房。

"三十天。"他轻声重复了一遍，嘴角缓缓勾起一个弧度。

"够了。"