第259章 突破14nm光刻机工艺

华达九天兴师动众的招聘启事并没有引起业界轰动，因为EDA的盘子实在是太小了。

2021年，全球半导体产业销售额达5188亿美元，然而作为芯片基础的EDA产业却只有区区70亿美元左右，简直令人难以置信。

而中国EDA销售额在这70亿美元里面，更是连1%都没有占到。

这种情况下，外国巨头根本懒得关心中国EDA的发展情况。

就算再折腾又能怎么样？

而且话说回来了，要知道任何EDA软件都是和市场挂钩的，EDA是上游厂商、设计厂商、制造厂商、封测厂商合作的产物，任何一个环节落后或缺失，都会对EDA工具有影响。

举个最简单的例子，国外最先进的EDA软件可以设计、仿真、验证5nm甚至3nm的芯片，国内的EDA呢？目前还徘徊在28nm左右，差距就像地球到月球这么远。

就在国外EDA企业不以为然之际，中国的EDA软件，在时隔三十年后，再次扬帆起航了。

……

4月18号上午九点，中海自贸区张东路1525号。

这里是中海微电子装备有限公司（SMEE）总部，同时中星微电子装备股份有限公司（XHZZ）研发基地也设立在这里。

此时，单层面积超过5000平方米的大型实验室里，无数身穿白色无尘服的研究员正在忙碌着，还有很多类人机器人也在自由的穿梭其中，带给人一种科幻大片现场的视觉冲击！

就在这时，实验室挑高的二层参观台上涌出一大群人，老中青都有。

被众人簇拥在最前面的三人分别是GWY下来考察调研的首长，SMEE董事长孙立群以及陈序。

孙立群介绍道：“这些机器人全部是星海科技研发制造的特种工业机器人……

光源系统、摄像光学系统、调焦扫描系统、视频采集系统和监测软件等等，也是由星海科技独家研发，并且拥有全部知识产权……”

“了不起啊！难怪网上都说星海是中国科技的未来之星。”

陪同着一起超前的陈序，谦虚道：“总L过奖了，我们还有很多不足的地步。”

首长亲切的拍拍他肩膀，然后顺着参观台上设立的透明甬道朝前走去，边走边看，同时问道：“那目前主要还有哪些困难呢？”

“主要就是机械精度方面有待提高…它里面有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片，两者需要始终同步，误差要在2nm以下，而两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多……”

孙立群抢着介绍了一番后，首长转头问右侧的陈序，“小陈你估计多长时间能研制成功？”

陈序组织了一下语言说：“如果一切顺利的话，大概今年底吧！”

说完陈序又跟到：“因为是第一次做没经验，再加上一些关键性的零部件被卡了脖子，只能通过自主研发。不过等到7nm时应该会很轻松。”

首长闻言有些讶异道：“7nm？”

孙立群再次抢着介绍道：“总L您没听错，正是7nm。

我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm，而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

首长听完后点点头，再次伸手拍拍陈序的手臂，“嗯，你是好样的！”

陈序被夸的有些不好意思了，呵呵笑着没说话。

一个小时后，下来考察调研的领导及随行人员乘坐考斯特离开了，陈序回到办公室直接瘫坐在了沙发里，说：“感觉比做十天实验还累。”

跟进来的中星微电子总负责人张海春，笑呵呵道：“一般搞学术的人，都不怎么喜欢这种场合，等以后习惯了应该会好一些。”

张海春是光刻机领域的大牛级人物，曾先后在ASML及台积电工作，甚至还被SMEE聘请为高级总工程师，不过后来因为某些原因离职了。

他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。

“呵呵，也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟，“超精密工件台的实验怎么样了？”

“不怎么理想，目前实验最多只能到5nm，距离要求的2nm还有一定的差距，德国跟日苯那边……”

陈序听了一会，然后一把把香烟摁灭，起身道：“走，带我过去看看。”

光刻机和别的设备不一样，它里面大部分零部件都需要专门定制。

什么意思呢，就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

而越高端定制的比例也越高，到了10nm这个级别，里面90%以上都是定制的。

且不是你想定制就能定制的，得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

他之前花高价从荷兰买配件，就是因为那些配件如果全部自己生产的话，先不说短时间能不能生产出来，就算能做出来，价格也要贵上十倍都不止！

不过以后不行了，欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁，荷兰那边已经pass掉XHZZ的订单申请。

不仅仅是荷兰，德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了，导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。

来到实验室，陈序控制机器人调校超精密工件台，而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。

一遍、两遍、十遍……

这一做就是十二小时，饿的实在撑不住了才出去吃一点，然后继续全身心的投入到实验中来。

超精密机械的调校是非常耗费时间精力的，像米国Cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。

当然，陈序不可能像那些工程师一样，花费十年去调校一个零部件，也不需要。

小白会帮他省去百分之九十九的步骤。

半个月后，经过陈序废寝忘食的工作，把超精密工件台的精度调校到了3nm。

这是一个具有里程碑纪念意义的时刻！

因为3nm的超精密工件台已经满足了14nm光刻机的制备工艺要求。

从这一刻起，中国算是全面掌握了14nm光刻机的制造技术。

上百名工程师全部围了过来，看着模拟机上的超精密工件台高速运行着，很多人眼睛里泛起了泪花。

偌大的实验室里响起了热烈的掌声。

“啪啪啪……”

多少年了，中国一直嚷着制造“中国芯”，但是因为造不出来尖端光刻机，这个梦想只能停留在幻想之中。

在机械、通讯设备、企业金融、航空航天等核心领域，不得不大量采用国外的芯片。

而众所周知，芯片是可以开后门的，而且是非常容易的事情。

最危险的就是只要不拔电池，通过芯片后门你所有的动作、所有的信息别人都可以轻易获取，而且你还不知道。

举个最简单的例子，智能手机一般都装有GPS芯片，即使关机了也可以定位。

张海春博士看着电脑上运行的数据，膀激动的说：“好啊…好！实在是太好了！”

陈序面带笑容说：“还是差了点！不过差不多到极限了，想达到10nm的制备工艺，只能从硬件上想办法了。”

“已经非常厉害了……”

现场工程师个个都以崇拜的眼神看着陈序。

很快SMEE的董事长孙立群，以及鲁嘉荣博士都是闻讯赶来，看到运行数据都是兴奋的恨不得手舞足蹈。

“实在是太好了！”孙立群说着朝实验室大门口跑去了，看样子是去打电话给上级部门报喜了。

鲁嘉荣博士激动到眼泪都下来了，紧紧搂着陈序的肩膀，看着模拟机上高速运转的工件台，语无伦次道：“陈工……你…好啊……”

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